凈化車間所需壓力差參照表

相應處所

zui低壓力差

不同級別的凈化間之間

5Pa

（0.5mmH₂O）

凈化間和準凈化間

10Pa

（1.0mmH₂O）

凈化間與一般房間

15Pa

（1.5mmH₂O）