潔凈室中常被采用的空氣循環(huán)系統(tǒng)

（1）單獨空調(diào)器系統(tǒng)
循環(huán)空氣通過空調(diào)器進(jìn)行溫、濕度處理后以風(fēng)管直接分送至各HEPA過濾器，但不宜用于過濾器多的系統(tǒng)，空調(diào)器的風(fēng)量一般不會太大。另一種方式是用總風(fēng)管至靜壓箱，如有靜壓箱，宜用于過濾器多的系統(tǒng)，靜壓箱要求密封性好，以免污染物通過過濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴(yán)密處漏入至潔凈室，這一點對要求嚴(yán)的潔凈室是十分重要的，常設(shè)在靜壓箱上一層屋頂層內(nèi)，以減少送風(fēng)管長度。一般每臺空調(diào)器的風(fēng)量30000-45000m3/h間，以控制噪聲過大，風(fēng)壓（氣壓）一般控制在650-700Pa以內(nèi)。
（2）軸流風(fēng)機豎井式布置，有壓靜壓箱
這種空氣循環(huán)系統(tǒng)主要用于大的IC工廠的潔凈室，由于其風(fēng)量大，過濾器多，每臺軸流風(fēng)機的風(fēng)壓?？刂圃?00Pa左右，以適應(yīng)軸流風(fēng)機低風(fēng)壓、大流量下的運行效率佳并控制其噪音。此系統(tǒng)的特點是綜合投資及運行費用較高，維護(hù)管理方便，但靈活性較有效期，另外有壓靜箱的缺點同上。
（3）FFU系統(tǒng)
FFU是近幾年發(fā)展起來的，在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實踐證明無可擔(dān)心。其特點是靈活性大，便于改造，擴展；占用建筑物空間較少；無壓回風(fēng)靜壓室，潔凈室內(nèi)風(fēng)壓大于它的，排除靜壓室對潔凈室漏入污染物。由于運行時的靜壓一般皆在250Pa左右，因此要求系統(tǒng)總阻力（過濾器為初阻力）控制在165Pa左右，即整個回風(fēng)阻力（包括風(fēng)道、各種局部阻力等）控制在65Pa左右，過濾器初阻力控制在約100Pa，融就需再增設(shè)加壓風(fēng)機系統(tǒng)，這就降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點。
FFU單機風(fēng)量一般在1000-2000m3/h，由于小風(fēng)機所用小容量（功率<1/2Hp）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，因此運行能效低，現(xiàn)多采用電子正流電機（無刷直流電機）其效率可達(dá)75-80%。解決了以往運行能效低的問題，在調(diào)整控制上，可每臺單獨或成組以過濾器壓降進(jìn)行控制以進(jìn)一步達(dá)到節(jié)能。FFU系統(tǒng)，可用于各行業(yè)的潔凈室，只要回風(fēng)系統(tǒng)阻力及過濾器阻力能合適控制，對小系統(tǒng)往往是可取的；對過濾器滿布率較低（如25%）左右的大面積潔凈室亦采用較多；對過濾器滿布率較高時一般往往是不經(jīng)濟的，滿布率高，意味著風(fēng)量很大，如控制系統(tǒng)阻力，回風(fēng)道要很大，往往在綜合經(jīng)濟上不可取，亦較難實現(xiàn)。