潔凈度檢測示例

例：潔凈室面積為80m2，要求的潔凈度為5級，并要求對于0.3um和0.5um兩種粒徑的微粒進行檢測，應(yīng)該如何進行？

1、檢測操作前的準(zhǔn)備

（1）判斷規(guī)定的被檢微粒的粒徑是否在5級粒徑限值之內(nèi)。0.3um和0.5um介于0.1um和5um之間，所以規(guī)定的被檢微粒在5級粒徑限值之內(nèi)。

（2）判斷規(guī)定的被檢微粒相鄰的較大粒徑是否不小于較小粒徑的1.5倍。

0.3*1.5=0.45，0.5＞0.45，符合要求。

（3）計算微粒最大允許濃度，計算公式為：

計算結(jié)果：

1）對于粒徑不小于0.3um的微粒，最大允許濃度為10200pc/m3。

2）對于粒徑不小于0.5um的微粒，最大允許濃度為3520pc/m3。

（4）計算最少采樣點數(shù)。計算結(jié)果：最少采樣點數(shù)為9個。

（5）計算單次測定的最少采樣量，計算結(jié)果：

對于不小于0.3um的微粒，a=10200pc/m3，代入公式：

檢測如下：

2、數(shù)據(jù)處理

因為采樣點數(shù)小于10，所以應(yīng)該考慮95%置信度的微粒濃度的上限。

（1）每個采樣點的平均值。每個采樣點只采樣一次，所以每個采樣點的一次測得值可以作為該點的平均值。

（2）總平均值

1）對于不小于0.3um的微粒：總平均值為6349 pc/m3。

2）對于不小于0.5um的微粒：總平均值為706 pc/m3。

（3）采樣點平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差

1）對于不小于0.3um的微粒：2154

2）對于不小于0.5um的微粒：382

（4）計算置信上限。置信度取95%，采樣點數(shù)m=9，從t分布表中查出t值為1.9。

1）對于不小于0.3um的微粒：

2）對于不小于0.5um的微粒：

3、檢測結(jié)果的判斷

1）對于不小于0.5um的微粒，a=3520pc/m3，代入公式：

                                                               
2）采樣條件要求單次采樣量不小于2L。
3）采樣條件要求單次采樣時間不小于1min。

4、檢測操作
（1）根據(jù)檢測條件要求，可選用28L/min光散射氣浮微粒測定儀進行檢測。
（2）每個采樣點只采樣一次，檢測結(jié)果見下表。每點測得的微粒數(shù)值均滿足潔凈度級微粒數(shù)均滿足潔凈度級別的要求，95%置信的微粒濃度的上限也滿足潔凈度級別的要求，所以該潔凈室的級別度符合要求。