本項測試內容的目的是驗證潔凈室或潔凈設施的空調系統在被測區域內維持的空氣溫度、濕度指標是否在用戶與供應商、承包商事前商定的控制限度范圍內。
潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。一般測試適用于處于空態的竣工驗收測試，綜合測試適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。
1、一般溫、濕度測試
此項測試應該在氣流均勻性測試完成，空調系統的控制裝置調節后進行。測試工作應該在空調系統穩定運行的狀況下進行。
根據ISO 14644-3“測試與測試方法”的規定，關于測點位置和數量，原則上由用戶與供應商、承包商約定。但各溫控區至少要測1個位置上的溫、濕度。各溫度、濕度傳感器應該放置在工作高度上的位置。應待傳感器有足夠的時間穩定下來以后，再記錄各個位置上的溫、濕度。測量時間段內至少每6min讀一次溫、濕度，并做記錄。
國內行業標準JGJ 71-90《潔凈室施工及驗收規范》的具體要求是：在進行溫、濕度測定前，凈化空調系統應已連續運行至少24h。測點一般布置在以下各處：
（1）送、回風口處；
（2）無恒溫要求的系統則僅在室中心位置測試；
（3）恒溫工作區內具有代表性的地點，如沿著工藝設備周圍布置或等距離布置；
（4）溫、濕度自動控制敏感元件設置處。
此外還規定，所有測點宜在同一高度，一般離地面800mm，也可根據空間大小分別布置在離地面不同的高度的幾個平面上，測點距外窗外墻表面應大于500mm。
2、綜合溫、濕度測試
此項測試建議在有嚴格的環境控制要求的場合進行。
該測試應在空調系統已經運轉，狀況已經穩定至少1h后進行。
應把工作區劃分成等面積的格子，格子數量按ISO 14644規定，由用戶與供應商、承包商商定，但至少要有3個。
溫、濕度測試元件應設置在工作高度，并距頂棚、墻和地面不少于300mm，同時還要適當考慮到熱源的存在。按ISO 14644-3的規定，測量時間應該至少1h，要至少6min讀一次值并記錄下來。
國內行業標準JGJ 71-90《潔凈室施工及驗收規范》對室內有溫、濕度精度要求時的測點數則做了如下表所示的規定。
此外，還要求進行較長時間的連續測量。具體規定為：根據對溫度和相對濕度波動范圍的要求，測量宜連續進行8～48h，每次測定間隔不大于30min。

3、測試報告
除去一些常規內容外，還應包括以下內容：
（1）測試儀器操作者姓名或數據采集裝置的名稱；
（2）測試儀器的名稱及其校準狀況；
（3）測試類型及測量條件，潔凈室或潔凈設施所處狀態；
（4）測點位置；
（5）按規定所進行各次測量的原始數據。