潔凈室如何進行靜電測試？

1、表面電荷電位測量
（1）測量點或待測物體應按合同文件的規定。選擇測試儀要依據待測物體是絕緣體還是導體以及其物理尺寸。
（2）手持儀器探頭，其距接地的金屬板的距離按生產商的規定，將靜電計或場強計的讀數調為零。
（3）手持探頭使之與金屬板平行，與金屬板的距離按生產商的建議值。
（4）金屬板的表面積應足夠大，適合于所要求的的探頭開口，且金屬板足夠大，有合適的探頭與表面間距比率。
（5）按生產商的說明，使探頭接近物體表面，并測量表面電壓，或測量電場。記錄每個規定測點的測量值。
2、表面電阻測量
（1）具體測量條件按合同文件的規定。
（2）應按生產商的建議以正確的間距將兩個電極設置在表面上。用具有合適輸出電壓的歐姆計測量表面電阻。記錄下每個規定測量點的測量值。
（3）將一個電極接地，另一個電極應按生產商的建議放置在表面上。用具有合適輸出電壓的歐姆計測量表面電阻。記錄下每個規定測量點的測量值。
3、離子發生器測試
（1）測量點或待測物體應按合同文件的規定。
（2）工業標準中規定的測量電離器性能的儀器稱為帶電板監測器。它的基本組成是：一個已知電容量的孤立導電板，將板充電至已知電壓或使其電壓為零的電源，可測量板上的電壓及其達到預置水平的時間的測量手段。
（3）將CPM放在規定的測量點，用電源將孤立的導電板充電至已知電壓。
（4）隨著板上的靜電荷被電離器所減少，測量該板上的靜電壓降至10%初始電壓的時間，即放電時間。在每個規定的測量點記錄測量值。
（5）重復該步驟，將板充電至已知負電壓。在每個規定的測量點記錄測量值。
4、剩余電壓測量
（1）測量點或待測物體應按合同文件的規定。
（2）將CPM放在規定的測量點，將孤立的導電板接地以消除殘余電荷。如需要，將CPM讀數調為零。斷開接地連接。
（3）允許孤立的金屬板有充分的時間從電離器獲得電荷，且讀數穩定。記錄剩余電壓。