溫濕度測試的目的是將潔凈室或潔凈空間的溫度和濕度水平記入文件。
溫濕度測試有兩種水平。一種是溫濕度均勻度普通測試，適合于正常的環境要求。一種是溫濕度均勻度綜合測試，適合于控制要求更嚴的區域。普通測試用來證實潔凈室的HVAC系統將使溫度和濕度保持在基本舒適性所需的規定水平。綜合測試用來證實潔凈室的HVAC系統將使溫濕度保持在舒適性和溫濕度控制兩者所需的規定水平。
1、普通溫濕度均勻度的測試
（1）測試步驟—溫度
1）進行測試前，要先驗證HVAC系統的測試、調節和平衡工作已完成。
2）測試前在自動控制狀態下讓HVAC系統運轉24h。
3）每個溫控區至少要在一個位置上測量溫度。把每個溫度計或傳感器放在的工作高度和位置上。傳感器要有充分時間穩定下來，使讀數準確。
4）記錄下各溫控工作區各位置上的時間和溫度讀數。
（2）測試步驟—濕度
1）進行測試前，要先驗證HVAC系統的測試、調節和平衡工作已完成。
2）測試前在自動控制狀態下讓HVAC系統運轉24h。
3）每個濕（溫）控區要至少測量一個位置上的相對濕度。把每個濕度計或傳感器放在的工作高度和位置上。使傳感器穩定下來。
4）在測量溫度的同時測量并記錄濕度讀數。
2、綜合溫濕度均勻度的測試               
（1）在每個溫控區至少1個溫度和相對濕度的測量點。
（2）可按規定在每個區內設置多個點。
（3）所存在的熱源應按相對于測試采樣的位置予以注明。
（4）在進行測試前，驗證HVAC系統測試、調節和均衡工作已完成。
（5）驗證氣流均勻度檢測已經完成且合格。
（6）測試前HVAC系統在正常自控條件下運行24h。
（7）在每個工作高度采樣位置放置一個溫度和濕度傳感器，并使其穩定。
（8）在每個位置以至少6min的時間間隔進行至少2h的溫濕度同時測量并記錄結果。一般對每個區測量22h以確保其在時間上的均勻性。