潔凈室的驗收--靜壓差的測定

維持潔凈室的靜壓差在規定的范圍內，可以有效控制潔凈室的交叉污染。通常所說的正壓潔凈室和負壓潔凈室，其實是反應它與相鄰空間的壓力差ΔP，如果ΔP＞0，該潔凈室就是正壓潔凈室；若ΔP＜0，則為負壓潔凈室。所以，潔凈室的靜壓沒有太大意義，我們要控制的是潔凈室與相鄰潔凈室或室外的壓力差。
1、檢測要求
（1）靜壓差的檢測須在潔凈區內的所有門全部關閉的情況下進行。
（2）測試順序應在潔凈室平面上由潔凈度高的潔凈室到潔凈度低的潔凈室（或走廊）依次進行，一直檢測到直通室外的房間。
（3）測管口應設在潔凈室內沒有氣流影響的地方，測管口平面應與氣流方向平行。
2、測量儀器
采用YJB-150補償微壓計或微差壓力計，儀器靈敏度由被測環境壓差控制精度而定，宜小于0.1Pa，規范要求靈敏度不應低于2.1Pa。
3、測試方法
（1）關閉所有的門。
（2）用微差壓力計，根據預先設計的測定順序測量各潔凈室之間，潔凈室與潔凈走廊之間，潔凈室與非潔凈室之間及非潔凈室與室外的壓差。
（4）上述所測數值分別標注在已畫好的測試平面圖上。
4、合格標準
按上述測試平面圖所標注的壓差數據，分別與設計或工藝要求的壓差值對比。若實測壓差大于或等于要求的壓差值，則判定為合格；但實測壓差值不宜超出標準要求的壓差太多，否則會產生噪聲且影響開關門，嚴重時還會在開關門時影響氣流組織。