潔凈室的檢測與認證--高效空氣過濾器檢漏

高效空氣過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能實驗檢測（如DOP測試等），并提供合格證(性能實驗結果)。對于5級(100級)以上潔凈室所使用的高效空氣過濾器，在現場應再次進行高效空氣過濾器本體的性能檢測，同時進行檢漏試驗以確認高效空氣過濾器是否正確安裝。在大規模集成電路生產的超潔凈技術中(如0.1um，1級)，由于新風量往往僅是循環風量的百分之幾，經過稀釋上風側也變成6級(1000級)的程度。在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。
1、檢測要求
（1）一般采取粒子計數器法進行檢漏，被檢高效空氣過濾器必須已檢測過風量，并在設計風速的80%～120%進行。
（2）對于被檢高效空氣過濾器上風側的微粒濃度符合下列要求：
對受控微粒≥0.5um的濃度，必須大于等于3.5*10⁴pc/L
對受控微粒≥0.1um的濃度，必須大于等于3.5*10⁶～3.5*10⁷pc/L
2、檢測方法
采用掃描法對高效空氣過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，監測點應距被測表面20～30mm，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。粒子計數器的小采樣量大于1L/min。
3、檢測設備
（1）光散射粒子計數器
其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現象，將采樣空氣中微粒的光脈沖信號轉換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關系，測量微粒粒徑大小。光散射粒子計數器一般由氣路系統、光學系統、電路系統和電源等部分組成。
（2）激光粒子計數器
其工作原理與光散射粒子計數器基本相同，但因采用了比光散射粒子計數器強100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測范圍達0.1μm。
（3）凝聚核粒子計數器
它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑粒子，進行微粒粒子濃度測定。工作原理為：采樣空氣中的微粒，經過溫度為35℃的飽和管，然后在溫度為10℃的凝聚管內由媒介液進行凝聚，直至增大到能夠檢測到散射光的粒徑為止，其他部分與一般光散射粒子計數器相同。
4、合格標準
GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規范》中規定，由高效空氣過濾器下風側泄露濃度換算成的透過率來衡量是否合格，其合格標準如下：
對于高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤2K
對于超高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K為過濾器出廠時檢測合格的透過率；
    K′為過濾器的泄露濃度換算成的透過率；
    c1為過濾器上風側含塵濃度；
    c2為過濾器下風側含塵濃度。