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FFU的特點及性能參數

更新時間:2021-07-17  |  點擊率:4625

FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端,一般放置在吊裝的干式墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊,下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的(HEPA)或超(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部過濾器的阻力,還要克服整個循環風所有通道部件的阻力,從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便,風速調節靈活,潔凈區易于變更等特點,因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一。
FFU的特點:
1、靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應的調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
2、可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,留待下次使用。
3、負壓通風。這是FFU的*特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區內,使得密封變得很簡單而且安全。
4、縮短建設周期。使用FFU省掉了風箱的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
5、減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但在它后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用大循環減少40%的運行成本。
FFU組合的性能參數:
模數尺寸:安裝吊頂龍骨中心線的間距,FFU常用的標準模數尺寸為1200*600(4'*2')、1200*900(4'*3')、1200*1200(4'*4')。
實際尺寸:FFU過濾器的實際尺寸=模塊尺寸-(龍骨斷面寬度-25mm),風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的圓頂龍骨端面寬度為55mm,模數尺寸為1200,900,600所對應的FFU過濾器實際尺寸1170,870,570,風機模塊的實際尺寸為1174,874,574。
機外余壓:在某一設定風速下,風機模塊的總靜壓下(TSP)扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力,即為機外余壓(ESP),單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環風阻力的能力,無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP,都必須指明送風風速或風量,否則沒有意義。
輸入能耗:FFU正常運轉時輸入電壓或輸入電流的乘積,單位是W。顯然,FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,輸入能耗不同。因此,如果不指名運行工況點,輸入能耗值沒有意義。
單位噪音:根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2m處的噪音值,單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,噪音不同。因此,如果不指明運行工況點,噪音值沒有意義。
微振:根據標準IES-RP-CC002,FFU在大運轉工況點時的振動幅度和振動速率,單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度:根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時,在距離出風面下方150mm(6'')的水平面上測量逐點的風速,得出平均風速值。平均風速與大風速和小風速的偏差比即為送風均勻度,單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等級:依據歐洲標準EN1822,過濾器等級從H10-H14,U15-U17,或依據美國標準MIL-282(HEPA)對于0.3um的效率值;依據美國標準IES-RP-CC007.1,對于0.12um的效率值。

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